种传感器

　　金融界2024年12月4日音尘，国度学问产权局新闻显示，姑苏敏芯微电子身手股份有限公司申请一项名为“一种基于MEMS工艺的六维力传感器”的专利，公然号CN 119063897 A，申请日期为2024年11月。

　　专利摘要显示，本申请公然了一种基于MEMS工艺的六维力传感器，席卷力传感器芯片，所述力传感器芯片席卷位于所述力传感器芯片核心位子的质料块，以及连绵所述质料块与芯片表框的弹性梁；所述弹性梁上设立有力敏电阻；底部组织，设立正在笔直于所述力传感器芯片表表的倾向，用于容纳所述力传感器芯片；顶部组织，位于所述力传感器芯片一侧，通过中心组织连绵所述力传感器芯片。